Beşiktaş Forum  ( 1903 - 2013 ) Taraftarın Sesi


Geri git   Beşiktaş Forum ( 1903 - 2013 ) Taraftarın Sesi > Eğitim Öğretim > Dersler - Ödevler - Tezler - Konular > Madencilik

Cevapla
 
LinkBack Seçenekler Stil
Alt 06-02-2007, 09:57   #1
imparator
Guest
 
imparator - ait Kullanıcı Resmi (Avatar)
 
Atomik Tabaka Epitaksisi

ATOMİK TABAKA EPİTAKSİSİ(Atomic Layer Epitaxy)



Atomik tabaka epitaksisi (ALE), kimyasal buhar biriktirme(CVD) yönteminin özel bir şekli olarak da düşünülebilir. Epitaksial filmlerin kontrollu gelişimini sağlamak amaçlı biriktirme ve katı alt malzeme yüzeyinde biçimlendirilmiş moleküler yapı oluşturma işlemidir. Tek atomlu tabakaların seri halde büyütülebilmesi ALE’nin karakteristik özelliğidir. Bu yüzden istenen kaplama kalınlığı ancak işlemdeki seri reaksiyonların sayımıyla elde edilebilir. Seri reaksiyonlarla oluşmuş tek katlı yapının yeniden kurulması belirtinin doyurma mekanizmasını ve doyurma yoğunluğunu etkilemektedir. ALE reaksiyonları normalde “etkili aşırı dozlama “ durumlarında tek atomlu yapıyı oluşturmak için tam doyurma meydana gelmesini kesinleştirir. Bundan başka öylesi “etkili aşırı dozlama” durumları kompleks şekilli alt malzemeler üzerinde homojen bir kaplama yapılmasını sağlamaktadır. Ayrıca ALE’deki bu zincir gaz fazı reaksiyonlarını engellemekte ve reaktan madde seçiminde daha fazla olanak sağlamaktadır. (örnek; tuz benzeri, metalorganikleri vs...) ALE işlemi mükemmel homojenliğe sahip yüksek kalitedeki ince filmlerde biriktirmede kullanılabilmektedir.

ALE işlemi atmosfer basıncı veya CVD’deki gibi inert gazların (hareketsiz gaz) kullanımında ya da moleküler dalga epitaksisindeki gibi vakumlu sistemlerde uygulanabilmektedir. Vakum kullanımı bölüm 10’da tanımlandığı gibi in-suti yüzey analiz metodlarında çeşitlilik sağlamaktadır. [271-273]. Ale işlemindeki ayrıntılı incelemede reaktan ve reaktör kullanımından söz edilmiştir.[274]. ALE işlemi sırasındaki film gelişme hızındaki teorisel evrim Park et al tarafından araştırılmıştır. Çok küçük kaplama değişimindeki genel düşünceyi kullanıyordu.[275]. Absorblama miktarının her elementin yüzeyde kapladığı yerle bağlantılı olduğu bulundu. Model şunu doğrulayabilir; “yüzey kaplamasının periyodik biriktirme süresince olan periyodik sınır durumu, başlangıç alt maddesinin film biriktirmesinden hala etkilendiği geçiş periy****dan sonra doymaktadır.”
  Alıntı ile Cevapla
Alt 06-02-2007, 09:58   #2
imparator
Guest
 
imparator - ait Kullanıcı Resmi (Avatar)
 

ALE’yi diğerlerinden ayıran özelliği kristalin bileşik tabakası, kompleks tabakalı yapıların,[276] süper kafeslerin[277,278], ve kusursuz yüzeye sahip alaşımların kusursuz büyümesini sağlayan cazip bir method olmasıdır. ALE önceleri polikristalini, ZnS’in ince amorf yapısını, elektro-parlak görüntü aletleri için dielektrik oksitlerin büyümesini sağlamak için geliştirilmişti. Bu günlerde ALE metodları kullanılarak çok geniş alanda ince filmler sentez edilebilmektedir. Bunlar yarı-iletken III-V [280-283], II-VI [284-286], oksitler [295,287-289], nitratlar [290-291], kovalent malzemeler[292], fosfatlar [293] ve metalik filmler [294].

ALE işlemi iyi uyumlu kaplamalı film üretebilir ve nanometrenin altındaki değerlerde film tabakasını doğru bir şekilde kontrol edebilir. Diğer yöntemlerde olmayan bu avantajı, bu yöntemi nano -teknoloji için çok değerli bir hale getiriyor. ALE’nin yetenekleri ve nano teknolojide ALE kullanımına karşı görüşler tartışılmıştır[295]

Mukai et al[296], büyüme kontrolunde ALE kullanımı ve bu nedenle kendi yapısındaki In0,5Ga0,5As/GaAs kuantum noktalarında kuantum sınır potansiyeli üzerinde araştırma yaptı. Noktalar (InAs)/GaAs) belirtilerinin değişimli beslenmesi ile büyüme sağlanır. Besleme periyotlarının sayısı 9 dan 30 a çıkarıldığı zaman, nokta boyutu 20’den 32 nm çapa yükselir ve foto-parlatma (PL) daha düşük bir enerjiye gönderilir.

Englemannn et al[297] ALE yöntemini CdSe/SrS multi-kuantum kaynak sistemlerinin imalatında kullanmıştır. Bunlar yerel bir sınıf olup suni fosforun kuantum kaynakları tarafından harekete geçirilip elektro-parlak görüntüyü sağlarlar. Kuantum kaynakları(QWs) yüksek yarıklı malzeme içerisine iyice yerleştirilir ve ışınlanmış merkezler gibi davranırlar. Çeşitli QW derinliklerinde çalışılmıştır. [3-15 nm) Qw derinliklerinde azallma emisyonu kısa dalga boylarına doğru kaydırır ve emisyon spektrumu birçok uç gösterir. Birkaç QW seviyesinden geçtikten sonra sonuçlanır.

Nano seviyesindeki ince tabakalar 3-20 nm kalınlığında Ta2O5-ZrO2, Ta2O5-Al2O3 gibi 2 veya 3 farklı oksit malzemeler içerirler. Bunlar da ALE metoduyla üretilir. Bu nano seviyesindeki ince tabakalardaki sızıntı akımı konveksiyonel dielektrik filmlerine oranla önemli derecede azaltılmıştır.
  Alıntı ile Cevapla
Alt 06-02-2007, 09:58   #3
imparator
Guest
 
imparator - ait Kullanıcı Resmi (Avatar)
 

ALE’nin diğer uygulama özelliği ise heterojen katalizörler için kullanılan geçirgen desteklerin imalatı süresince , geçirgen malzemenin mikro gözeneklerinde biriktirme işlemlerinde ve iyi uyumlu kaplama özelliklerinde mükemmel bir bir başarı sağlanmasıdır. [298]. Silikon matriks gibi diğer geçirgen malzemelerde ALE yöntemi kullanılarak uyumlu kaplama eldesi açıklanmıştır. [269-299]. Örneğin geçirgen alt matris içinde Ale yöntemiye biriktirilmiş kalay oksit ve galyum oksit’in homojen dağılımı Rutherford tarafından ortaya çıkarılmıştır.

ALE ayrıca çok katmanlı yığılmış elektro-parlak aletlerin üretiminde kullanılır. Bu aletler seri halde, biri diğerinin üzerine yığılmış çift yalıtkan tabakalı parlak birimler içerirler. Saydam elektrotlarla birbirinden ayrılırlar ve değişimli olarak zıt yönlere hareket etmeye eğilimlidirler. [300] Dizaynı, yönlendirme voltajını ve toplam fosfor kalınlığının bağımsız kontrolünü sağlamaya izin vermektedir. Yönlendirme voltajı sadece tek fosfor tabakası kalınlığına bağlı iken toplam fosfor kalınlığı ve böylece toplam parlaklığı katman sayısı arttırılarak arttırılabilir. ALE tarafından imal edilen ilk örneklerde ve eşdeğer devle analizlerindeki bildirimlerde bu durum gösterilmiştir.

AIP ve GaP ALE ilk önce çok katmanlı x-ışını aynalarında kullanılmaktadır. Ele2nin katman-katman büyüme türü , kesin ve doğru olarak çok katlı aynaların dalga boyu yansımasının kontrolünü sağlamaktadır. % 10 fazla yansıtma özellikli AIP/GaP çok katmanlı aynalar ALE yoluyla gerçekleştirilmiştir.
  Alıntı ile Cevapla
Cevapla

Bu konuyu arkadaşlarınızla paylaşın


Konuyu Toplam 1 Üye okuyor. (0 Kayıtlı üye ve 1 Misafir)
 
Seçenekler
Stil

Yetkileriniz
You may not post new threads
You may not post replies
You may not post attachments
You may not edit your posts

BB code is Açık
Smileler Açık
[IMG] Kodları Açık
HTML-KodlarıKapalı
Trackbacks are Açık
Pingbacks are Açık
Refbacks are Açık




Türkiye`de Saat: 09:19 .

Powered by vBulletin® Copyright ©2000 - 2008, Jelsoft Enterprises Ltd.
SEO by vBSEO 3.3.2

Sitemiz CSS Standartlarına uygundur. Sitemiz XHTML Standartlarına uygundur

Oracle DBA | Kadife | Oracle Danışmanlık



1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119 120 121 122 123 124 125 126 127 128 129 130 131 132 133 134 135 136 137 138 139 140 141 142 143 144 145 146 147 148 149 150 151 152 153 154 155 156 157 158 159 160 161 162 163 164 165 166 167 168 169 170 171 172 173 174 175 176 177 178 179 180 181 182 183 184 185 186 187 188 189 190 191 192 193 194 195 196 197 198 199 200 201 202 203 204 205 206 207 208 209 210 211 212 213 214 215 216 217 218 219 220 221 222 223 224 225 226 227 228 229 230 231 232 233 234 235 236 237 238 239 240 241 242 243 244 245 246 247 248 249 250 251 252 253 254 255 256 257 258 259 260 261 262 263 264 265 266 267 268 269 270 271 272 273 274 275 276 277 278 279 280 281 282 283 284 285 286 287 288 289 290 291 292 293 294 295 296 297 298 299 300 301 302 303 304 305 306 307 308 309 310 311 312 313 314 315 316 317 318 319 320 321 322 323 324 325 326 327 328 329 330 331 332 333 334 335 336 337 338 339 340 341 342 343 344 345 346 347 348 349 350 351 352 353 354 355 356 357 358 359 360 361 362 363 364 365 366 367 368 369 370 371 372 373 374 375 376 377 378 379 380 381 382 383 384 385 386 387 388 389 390 391 392 393 394 395 396 397 398 399 400 401 402 403 404 405 406 407 408 409 410 411 412 413 414 415 416 417 418 419 420 421 422 423 424 425 426 427 428 429 430 431 432 433 434 435 436 437 438 439 440 441 442 443 444 445 446 447 448 449 450 451 452 453 454 455 456 457 458 459 460 461 462 463 464 465 466 467 468 469 470 471 472 473 474 475 476 477 478 479 480 481 482 483 484 485 486 487 488 489 490 491 492 493 494 495 496 497 498 499 500 501 502 503 504 505 506 507 508 509 510 511 512 513 514 515 516 517 518 519 520 521 522 523 524 525 526 527 528 529 530 531 532 533 534 535 536 537 538 539 540 541 542 543 544 545 546 547 548 549 550 551 552 553 554 555 556 557 558 559 560 561 562 563 564 565 566 567 568 569 570 571 572 573 574 575 576 577 578 579 580