ALE’nin diğer uygulama özelliği ise heterojen katalizörler için kullanılan geçirgen desteklerin imalatı süresince , geçirgen malzemenin mikro gözeneklerinde biriktirme işlemlerinde ve iyi uyumlu kaplama özelliklerinde mükemmel bir bir başarı sağlanmasıdır. [298]. Silikon matriks gibi diğer geçirgen malzemelerde ALE yöntemi kullanılarak uyumlu kaplama eldesi açıklanmıştır. [269-299]. Örneğin geçirgen alt matris içinde Ale yöntemiye biriktirilmiş kalay oksit ve galyum oksit’in homojen dağılımı Rutherford tarafından ortaya çıkarılmıştır.
ALE ayrıca çok katmanlı yığılmış elektro-parlak aletlerin üretiminde kullanılır. Bu aletler seri halde, biri diğerinin üzerine yığılmış çift yalıtkan tabakalı parlak birimler içerirler. Saydam elektrotlarla birbirinden ayrılırlar ve değişimli olarak zıt yönlere hareket etmeye eğilimlidirler. [300] Dizaynı, yönlendirme voltajını ve toplam fosfor kalınlığının bağımsız kontrolünü sağlamaya izin vermektedir. Yönlendirme voltajı sadece tek fosfor tabakası kalınlığına bağlı iken toplam fosfor kalınlığı ve böylece toplam parlaklığı katman sayısı arttırılarak arttırılabilir. ALE tarafından imal edilen ilk örneklerde ve eşdeğer devle analizlerindeki bildirimlerde bu durum gösterilmiştir.
AIP ve GaP ALE ilk önce çok katmanlı x-ışını aynalarında kullanılmaktadır. Ele2nin katman-katman büyüme türü , kesin ve doğru olarak çok katlı aynaların dalga boyu yansımasının kontrolünü sağlamaktadır. % 10 fazla yansıtma özellikli AIP/GaP çok katmanlı aynalar ALE yoluyla gerçekleştirilmiştir. |